碳化硅陶瓷不僅具有優(yōu)良的常溫力學(xué)性能,如高的抗彎強(qiáng)度、優(yōu)良的抗氧化性、良好的耐腐蝕性、高的抗磨損以及低的摩擦系數(shù),而且高溫力學(xué)性能(強(qiáng)度、抗蠕變性等)是已知陶瓷材料中最佳的。熱壓燒結(jié)、無(wú)壓燒結(jié)、熱等靜壓燒結(jié)的材料,碳化硅的最大特點(diǎn)是高溫強(qiáng)度高,普通陶瓷材料在1200 ~ 1400攝氏度時(shí)強(qiáng)度將顯著降低,而碳化硅在1400攝氏度時(shí)抗彎強(qiáng)度仍保持在500 ~600MPa的較高水平,因此其工作溫度可達(dá)1600攝氏度;碳化硅板質(zhì)地硬而脆,膨脹系數(shù)小,能耐急冷急熱,不易變形。碳化硅密度最小,所以碳化硅制作的陶瓷零件重量最輕。
氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁(Al2O3)為主體的陶瓷材料,用于厚膜集成電路。氧化鋁陶瓷有較好的傳導(dǎo)性、機(jī)械強(qiáng)度和耐高溫性。需要注意的是需用超聲波進(jìn)行洗滌。其耐磨性相當(dāng)于錳鋼的266倍,高鉻鑄鐵的171.5倍。氧化鋁陶瓷是一種優(yōu)質(zhì)的絕緣材料,常用于制作陶瓷絕緣片、絕緣環(huán)等零部件。氧化鋁陶瓷耐高溫可達(dá)1750℃(氧化鋁含量99%以上)。